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平板显示 - 空气过滤

平板显示 - 空气过滤的解决方案

平板显示器市场竞争激烈,技术多样。针对于此,制造商致力于开发更高分辨率的显示器、新的制造技术和更具成本效益的生产工艺。涉及到环境空气,工艺制程气以及液体制程的污染控制要求比以往更高。高等级制程需要将越来越小的污染物控制在更微小的浓度水平。在关键工艺步骤中,大面积面板上积累灰尘颗粒的可能性非常高,所以需要的送风量和循环风量很大,来提高空气洁净度,从而控制产品质量。

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