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Air filtration

高世代线湿制程用超高流量过滤滤芯

滤芯适用于高世代线液晶面板生产制造工艺,主要应用在高流量要求的工艺点,滤芯能够达到超过200L/min的流量要求,精致的外观结构能够充分满足设备对空间的要求,2m²以上的滤膜面积不仅具备高流量的性能,也具备高纳污量的性能,能够减少设备在使用过程中因更换滤芯而造成的设备停机次数。滤芯有多种膜材与多种精度可选。

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电子制程水过滤滤芯

电子制程水过滤滤芯采用亲水性PES膜材,其非对称的膜结构使滤芯在保证过滤效率的同时,大大延长了滤芯的使用寿命,有效节省了系统的过滤成本。 适合弱酸/碱和超纯水的过滤。

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60T/H超大流量滤芯

60T/H超大流量滤芯是一款大直径,无中心杆,单开口,并且具有独特内进外出流向设计的滤芯。超大流量减少了滤芯和过滤器的使用量。可选用多种滤膜材质以适应不同应用要求。

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低析出超高精度终端滤芯

低析出超高精度终端滤芯采用亲水性PES膜材,专为超纯水终端过滤设计,具有超低的离子析出,极快电阻率回复能力,大大减少在线冲洗时间。最高达到0.02μm的过滤精度,确保了终端超纯水出水水质。

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光刻胶用终端绝对过滤滤芯

光刻胶用终端绝对过滤滤芯专为过滤光刻胶设计,采用高流速、高精度的PTFE或尼龙滤膜,结合低析出的HDPE骨架,溶出极低,适用于光刻胶的终端过滤,可选多种过滤精度:可选0.02µm-10µm 的多种过滤精度,满足不同过滤需求,可以根据应用和客户需求进行专项定制。

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抛光液深层过滤滤芯

抛光液深层过滤滤芯利用独特的卷绕设计,能够对CMP的slurry精准过滤,高效拦截大颗粒,放行有效颗粒。由外到内的梯度结构,增加了纳污空间,延长滤芯使用寿命。

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超高纳污量过滤滤芯

超高纳污量过滤滤芯采用多层纳米纤维材料,在合理的梯度结构设计下,具备高纳污能力。由粗到细的渐变孔径多级截留的特性,使滤芯具有更强的纳污能力,能够有效改善表面快速堵塞问题,大幅度延长了滤芯的使用寿命。过滤精度:0.5-90μm的精度范围,能够满足各种不同过滤精度的要求,适用范围广非常适用于高悬浮颗粒、胶体类物质、高粘度液体的过滤。

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FFU风机过滤机组

通过与高效/超高效板式过滤器配合从循环空气中去除有害颗粒,为半导体和平板显示行业的洁净室和实验室提供净化空气。与洁净室送风天花系统不同,FFU可产生正压,从而降低潜在天花旁通泄露的风险。

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