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半导体 - 液体过滤的解决方案

高精密的生产设备和产品工艺往往要求较高洁净度的空气环境和高纯度的水来保证设备高效稳定的运行及产品的合格率，微电子工业正是集中各类先进生产技术的突出代表。

相关产品

高世代线湿制程用超高流量过滤滤芯

滤芯适用于高世代线液晶面板生产制造工艺，主要应用在高流量要求的工艺点，滤芯能够达到超过200L/min的流量要求，精致的外观结构能够充分满足设备对空间的要求，2m²以上的滤膜面积不仅具备高流量的性能，也具备高纳污量的性能，能够减少设备在使用过程中因更换滤芯而造成的设备停机次数。滤芯有多种膜材与多种精度可选。

电子制程水过滤滤芯

电子制程水过滤滤芯采用亲水性PES膜材，其非对称的膜结构使滤芯在保证过滤效率的同时，大大延长了滤芯的使用寿命，有效节省了系统的过滤成本。适合弱酸/碱和超纯水的过滤。

60T/H超大流量滤芯

60T/H超大流量滤芯是一款大直径，无中心杆，单开口，并且具有独特内进外出流向设计的滤芯。超大流量减少了滤芯和过滤器的使用量。可选用多种滤膜材质以适应不同应用要求。

低析出超高精度终端滤芯

低析出超高精度终端滤芯采用亲水性PES膜材，专为超纯水终端过滤设计，具有超低的离子析出，极快电阻率回复能力，大大减少在线冲洗时间。最高达到0.02μm的过滤精度，确保了终端超纯水出水水质。

光刻胶用终端绝对过滤滤芯

光刻胶用终端绝对过滤滤芯专为过滤光刻胶设计，采用高流速、高精度的PTFE或尼龙滤膜，结合低析出的HDPE骨架，溶出极低，适用于光刻胶的终端过滤，可选多种过滤精度：可选0.02µm-10µm 的多种过滤精度，满足不同过滤需求，可以根据应用和客户需求进行专项定制。

抛光液深层过滤滤芯

抛光液深层过滤滤芯利用独特的卷绕设计，能够对CMP的slurry精准过滤，高效拦截大颗粒，放行有效颗粒。由外到内的梯度结构，增加了纳污空间，延长滤芯使用寿命。

超高纳污量过滤滤芯

超高纳污量过滤滤芯采用多层纳米纤维材料，在合理的梯度结构设计下，具备高纳污能力。由粗到细的渐变孔径多级截留的特性，使滤芯具有更强的纳污能力，能够有效改善表面快速堵塞问题，大幅度延长了滤芯的使用寿命。过滤精度：0.5-90μm的精度范围，能够满足各种不同过滤精度的要求，适用范围广非常适用于高悬浮颗粒、胶体类物质、高粘度液体的过滤。

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